Электронная книга
Знание - мощная сила, и книга - лучший фонд мудрости. И не только их... И это хороший образчик такого типа работы, которая помогает выработать рациональный взгляд на мир и на себя самого, открывая новые пути для самосовершенствования и изменения окружающего мира - "Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники"
В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO 2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики). Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся химией твердого тела, микроэлектроникой и технологией материалов электронной техники.
Нет сомнений, что "Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники" окажется кстати и полезной в познании данной области человеческих знаний и себя.
Если у вас возникнет вопрос, вам всегда помогут опытные сотрудники магазин электронных книг ЛитPec - крупнейшего агрегатора, дистрибьютора и продавца лицензионных изданий в России!
Прозаик А. всегда дарил свои книги друзьям и знакомым только через три года после выхода их из печати. - В этом есть свой резон, - хитро улыбаясь, говорил он, - к этому времени их, как правило, уценяют.
Качнул книгу из интернета - спас дерево.
Этот небольшой блок рекламы поможет вам больше узнать о других полезных для путешественника книгах и не только о них: эти и разные прочие спонсоры помогают самым различным сайтам развиваться и существовать. Из помещенной тут информации вы - очень возможно - извлечёте для себя что-то полезное или просто интересное дополнительно Реклама - двигатель торговли, но еще и своего рода источник полезной информации! Тут за примерами далеко ходить не надо
