Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Электронная книга
- Автор: А. И. Мочалов
- Издатель: Лаборатория знаний
- Год: 2012
- ISBN: 978-5-9963-2569-6
- Цена: 242 Руб.
Знание - сила, и книга - фундаментальный ресурс премудрости. Но не только... И это яркий экземпляр такой книги, которая помогает решить проблемы, являясь своего рода руководством для познания определеных сторон человеческой цивилизации - "Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие"
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Несомненно, что "Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие" окажется своевременной, полезной и познавательной.