Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Электронная книга
- Автор: А. И. Мочалов
- Издатель: Лаборатория знаний
- Год: 2013
- ISBN: 978-5-9963-2129-2
- Цена: 275 Руб.
Знание - сильное оружие, и книга - неиссякаемый ресурс знаний. И это ещё не всё! И это достоверный образчик такой литературы, что несет знания, помогает решить проблемы, являясь своего рода руководством в определенных вопросах - "Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие"
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Нет сомнений, что "Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие" окажется своевременной, полезной и познавательной.